原位差分电化学质谱仪（DEMS）是一种将电化学反应池与质谱仪联用，可以实时检测电化学反应界面消耗或产生的气体和挥发性中间产物、最终产物，并进行定性、定量分析的仪器。DEMS可在毫秒时间内检测到反应过程中产生或消耗的微量气体，是研究电化学反应机理、评估电化学反应性能的重要工具。 更多

质谱技术是一项基于质量分析的技术，可以对物质的组成、结构、分子量以及化学反应的过程进行研究和分析。在半导体制程中，质谱技术可以应用于材料的组成分析、杂质的检测、表面反应的研究、材料表征、晶圆的污染检测等方面。 更多

电芯漏液是指电池内部电解液泄漏的情况，这不仅会导致电池性能下降，还可能引发安全问题。因此，对于电芯漏液的检测就显得尤为重要。 更多