便携式气体分析仪（PGA)

便携式气体测试仪
方便实用的气体过程、泄漏检测仪器

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产品描述

简单可靠的气体分析解决方案

在线气体分析系统

内置四级质谱仪

便携式气体分析仪（PGA)

四级质谱过程分析是对各类气相分子能精确定性定量检测的一种快速、灵敏和可靠的方法，可以快速解决客户各种繁杂气体分析测试的问题。

ACT公司过程气体分析仪集高灵敏度、高稳定性和智能操作于一体，是质谱技术真空分析的完美解决方案。

ACT的创新技术旨在大幅提高气体过程检测分析仪的易用性、性能和可靠性，使您高枕无忧，代表了我们持久专注气体快速分析的技术的新成果。

PGA是一种理想的解决方案，可用于从质量控制、泄漏检测和对复杂的残余气体的定性定量分析任务。

高灵敏度、高稳定性和智能操作

清晰易读的平台化软件

模块化设计

PGA是一种理想的解决方案，可用于从质量控制、泄漏检测和对复杂的残余气体的定性定量分析任务。

现成的应用程序，将质谱仪连接到您的 PLC

我们拥有多年的客户积淀和应用经验

■ 长寿命双灯丝结构

■ 可探测分压 3 ·10-15 hPa (mbar)

■ 内置全量程真空计，易于测量总压力

■ 软件操作直观，节省时间

■ 全面的技术支持和全球统一的现场服务

■ JSON 编程界面易于系统集成 PV MassSpec 测量程序

简单可靠的气体分析解决方案

在线气体分析系统

内置四级质谱仪

■ 用户友好、操作直观

■ 通过内置程序进行自动测量

■ 只需单击即可进行泄漏检测和真空诊断

■ 自动校准和调整

■ 简单定义的测量方式

■ 质谱仪数据可以链接外部信号

成功的气体分析解决方案很大程度上取决于应用条件。以下是几种常见应用以及可获得超高可靠性

结果的理想配置解决方案示例。

特种气体分析

-高真空环境过程测试

-泄漏分析

-特气钢瓶除杂监控

-清洗工艺监控

半导体过程分析

适配用于 MBE、Coating、PVD 等半导体工艺的过程监控器。

- 化学气相反应;

- 腔体泄漏分析;

- 鉴别痕量污染物;

- 渗透率测试;

残余气体分析

-高真空腔体分析检测

-大小型真空室的本底气体分析

-高真空除杂残余气氛测试

技术参数

测量范围
测量范围	from 1 to 100amu (200/300可选)
进样系统	真空法兰，进样管等
真空法兰	CF35
	可配置入口腔体和对接波纹管
辅热（选配）	200/350℃辅热
质谱仪	PGA F1	PGA F2	PGA F3	PGA M1		PGA M2		PGA M3
检测器	Faraday (F)			C-SEM/Faraday (M)
质量范围	1– 100 u	1– 200 u	1– 300 u	1– 100 u	1– 200 u		1– 300 u
四极杆直径/长度	6 mm / 125 mm
最小可检测分压, Faraday3) 4 · 10- 13 hPa		5 · 10- 13 hPa	7 · 10- 13 hPa
最小可检测分压, C-SEM3)4) –		–	–	3 · 10- 15 hPa	4 · 10- 15 hPa		5 · 10- 15 hPa
Ar 灵敏度, Faraday5) 5 · 10-4 A/hPa		4 · 10-4 A/hPa	3 · 10-4 A/hPa	5 · 10-4 A/hPa	4 · 10-4 A/hPa		3 · 10-4 A/hPa
最大操作压力, Faraday operation	5 · 10-4 hPa
最大操作压力, C-SEM operation –		–	–	5 · 10-5 hPa	5 · 10-5 hPa		5 · 10-5 hPa
相邻质量干扰 (40/41) < 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm	< 20 ppm		< 50 ppm
最大工作温度, 分析单元 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
工作温度, electronics	5 – 50 °C
烘烤温度, analyzer	300 °C
对接法兰	DN 40 CF-F
分辨率在10 %峰高处	0.5 – 2.5 u
扫描速度	1 ms – 16 s/u
峰值比重现性	± 0.5 %
通讯接口	Ethernet
供电	100–240 V AC, 50/60 Hz
PGA
全重	6 - 12 kg
尺寸	550210270（LWH）
分子泵（选配）	67 L/s (N2)

应用咨询和服务

应用咨询

ACT应用工程师将分析您的应用并就如何优化气体分析测试给出建议

服务和支持选项

ACT拥有由专业服务人员组成的全球网络资源以及各种支持选项

– 实现您的需求

– 提高工作效率

– 确保您的仪器完全满足各种复杂的应用

完整的气体分析测试解决方案

ACT 真空代表全球创新和定制的气体分析测试解决方案，技术完美，合理的建议和可靠的服务

气体分析产品全覆盖

我们拥有从质谱色谱到光谱的所有产品和解决方案，解决您多重复杂气体和复杂环境中的气体分析，匹配于广泛的气体分析测试应用环节。

理论和实践能力

受益于我们的专业知识和我们的培训！我们支持您的气提分析，并为您提供一流的现场服务。

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请提交您的需求表，我们将根据您的需求定制最合适的解决方案

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