产品描述
简单可靠的气体分析解决方案
在线气体分析系统
四级质谱检漏
高灵敏度传感器和智能操作的结合，使MLS211 成为泄漏测试的完美解决方案。
全压力范围测量
对制程的监控压力范围高达1x10-7 至1000 mbar
原位分析、监测、定量化学反应结果。
全新软件
全新开发的操作软件，更加易用可靠。所有测量结果均可保存上传至 指定地方。新一代高效气体分析解决方案，智能软件，操作简便，紧凑设计。
All in one
全新的 MLS 211匹配有高性能的涡轮分子泵和隔膜泵,无油的 高真空环境为质谱的分析提供本底,不同的采样系统可以 为您的气体分析提供广泛的测试解决方案；普适性的测量程序，优质的集成高科技组件。
典型应用
残留气体分析
对真空系统中残留气体的分析提供了解决方案， 很多应用要求对残余气体的组成或分压进行监测，直至达到所期望的极限，我们的MLS 可以完美的测试残余气体组分。
关于材料的表面性能、解吸行为、纯度和密封性测试，以及工艺气体的组成的测试。该质谱系统均可以完成测试，它还能为用户提供对真空室状况的重要信息。
完好的电池(红色)和泄漏电解液的电池扫描比对
泄漏检测
MLS 211具有指定特定的气体泄漏检测模式，可以通过软件控制来激活。
此功能使用户更容易在真空系统中发现任何泄漏。
DMC 的泄漏测试1.7e-5mbar.I/s
过程观察
MLS211可以在高达300 amu 的测量范围内观察到任意数量的选定质量强度。可设定报警循环阈值给选定的质量。如果它们高于或低于期望的极限，信号可以通过数字输 出提供给更高等级的控制系统。这允许MLS211 提供实时过程观察和控制。EVN116 (选配)气体管控阀系统要适应相关制程的压力需要，以及一个另外集成的截止阀可 以快速的在系统泄漏时关闭并保护质谱系统。
质量保证和过程优化
可选定几个特定的制程一定时间范围内气体浓度的变化， 监视气体成分，具有定量测定和确定工艺气体的纯度和种类的能力,以及监测与真空镀膜工艺有关的气体成分的能力，被认为是工艺文件和质量保证的一个重要工具。可追踪整个工艺流程，全过程测量 以及分析，无需停止测量。所有的测量结果可以导出以进行进一步的分析。
呼吸过程测试(特定版本)
通讯接口信息
| I/O选项 | 模拟输出 | 模拟输入 | 数字输出 | 数字输入 |
| 数量 | 8 | 8 | 10 | 5 |
| 规格 | 0-10V | (-10-+10V) | Vout=24V | Vin=24V |
| 分辨率 | 16 bit | 16 bit | － | － |
| 应用程序示例 | 测量值； 例：离子电流 浓度比； 数据传输到更高等级的系统。 | 读取外部参数； 例：压力、温度、流速 | 阀门驱动； 自由切换量程 | 启动或停止测量任务的方式外部信号 |
技术参数
| 涡轮分子泵 | HiCube Eco | |||||
| 功率 | 170W | |||||
| 电压 | 110-240V;50/60Hz | |||||
| 对氦的抽速 | 67l/s | |||||
| 前级泵的抽速 | 1m3/h | |||||
| 极限压力 | <1·10-7hpa | |||||
| 真空规管 | PKR 361 皮拉尼/冷阴极规 | |||||
| 测量范围 | 1·10-9-1·103hpa | |||||
| 进样系统阀组 | EVN 116 气体计量/截止阀 | |||||
| 流量 | 可调流量范围 5 ·10-6 -3 ·103 hPa l/s | |||||
| 连接法兰 | DN 16 ISO-KF | |||||
| 检测器 | Faraday（F) | C-SEM/Faraday（F) | ||||
| 质量范围 | 1-100u | 1-200u | 1-300u | 1-100u | 1-200u | 1-300u |
| 四极杆 直径/长度 | 6mm/125mm | |||||
| 最小可检测分压，Faraday | 4·10-13hpa | 5·10-13hpa | 7·10-13hpa | |||
| 最小可检测分压，C-SEM | 3·10-15hpa | 4·10-15hpa | 5·10-15hpa | |||
| Ar 灵敏度 Faraday | 5·10-4A/hpa | 4·10-4A/hpa | 3·10-4A/hpa | 5·10-4A/hpa | 4·10-4A/hpa | 3·10-4A/hpa |
| 最大操作压力，Faraday | 5·10-4hpa | |||||
| 最大操作压力，C-SEM | 5·10-5hpa | 5·10-5hpa | 5·10-5hpa | |||
| 相邻质量干扰（40/41） | <10ppm | <20ppm | <50ppm | <10ppm | <20ppm | <50ppm |
| 最大工作温度，分析单元 | 200℃（当开启SEM时最大150℃） | |||||
| 工作温度 | 5-50℃ | |||||
| 烘烤温度 | 300℃ | |||||
| 对接法兰 | DN 40 CF-F | |||||
| 分辨率在10%峰高处 | 0.5-2.5u | |||||
| 扫描速度 | 1ms-16s/u | |||||
| 峰值比重线性 | ±0.5% | |||||
| 通讯接口 | Ethemet | |||||
| 供电 | 100-240V AC,50/60Hz | |||||
| MLS211 | ||||||
| 全重 | 25.5-26.2kg | |||||
应用咨询和服务
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